Lasertex HPI 3D激光测量系统垂直度测量：
可以使用3D或精密直线度测量光学镜组测量垂直度。需要与垂直度镜组REW同时使用。
要求的仪器配置:
HPI-3D激光干涉仪测量系统套装
垂直度镜组REW
精密直线度测量光学镜组（精密测量使用）
如下图所示：
3D方法测量垂直度：
精密光学镜组方法测量垂直度：
可以使用3D或精密直线度测量光学镜组测量垂直度。需要与垂直度镜组REW同时使用。
HPI-3D激光干涉仪测量系统套装
垂直度镜组REW
精密直线度测量光学镜组（精密测量使用）